薄膜沉積是在另一種較厚的基材材料上生成非常薄的材料涂層的過(guò)程。使用掩模技術(shù)構(gòu)建不同材料的薄膜層，以在基材表面上創(chuàng)建電子器件。這導(dǎo)致高度穩(wěn)定的微型電子元件保留了基材材料的機(jī)械性能。

　應(yīng)變計(jì)是一種測(cè)量施加力的裝置。當(dāng)應(yīng)變片元件被拉伸或壓縮時(shí)，應(yīng)變片的電阻或阻抗將發(fā)生變化。應(yīng)變計(jì)被集成到旨在利用應(yīng)變計(jì)靈敏度的電路中，從而將由此產(chǎn)生的電阻變化轉(zhuǎn)換為可測(cè)量的電壓，該電壓可以發(fā)送到其他電子設(shè)備進(jìn)行進(jìn)一步處理。

　壓力傳感器是一種測(cè)量或檢測(cè)液體或氣體壓力并將其作為特定類型和格式的信號(hào)發(fā)送的設(shè)備，該信號(hào)由連接的監(jiān)測(cè)和控制儀表識(shí)別。

　薄膜傳感器的類型

　1.高溫應(yīng)變傳感器技術(shù)–這些壓力計(jì)可在超過(guò)1000°C的溫度下正常工作，這優(yōu)于傳統(tǒng)傳感器的700°C極限。

　2.薄膜熱電偶–薄膜熱電偶可薄至10μm，可用于多種基板系統(tǒng)。

　3.熱通量傳感器–熱電堆型傳感器使用薄膜熱電偶測(cè)量溫差，而基于RTD的傳感器則基于薄膜RTD。

　4.流量傳感器——薄膜流量傳感器可以測(cè)量比傳統(tǒng)傳感器更靠近表面的邊界層流量；65μm遠(yuǎn)相比于約250μm。

　5.多功能傳感器——一些薄膜傳感器可以同時(shí)測(cè)量溫度、壓力和熱通量。